硅酸甲酯，又稱甲基硅酸甲酯，是一種有機硅化合物。其化學式為(CH3O)3SiCH3，硅酸甲酯是一種無色液體，具有揮發性和具有刺激性氣味。它可溶于有機溶劑，不溶于水。其具有較低的沸點和閃點，易揮發。主要用作電子工業的絕緣材料、光學玻璃處理劑及凝結劑，也可用于有機硅化合物的合成。

硅酸四甲酯

外文名：Tetramethyl orthosilicate

別   名：四甲氧基硅烷

化學式：C4H12O4Si

分子量：152.221

CAS登錄號：681-84-5

EINECS登錄號：211-656-4

熔   點：-4 ℃

沸   點：121 至 122 ℃

水溶性：不溶

密   度：1.023 g/cm3

外   觀：無色液體

閃   點：28 ℃

溶解性：不溶于水，可混溶于多數有機溶劑

用途：主要用作電子工業的絕緣材料、光學玻璃處理劑及凝結劑，也可用于有機硅化合物的合成。還用于制備有機硅樹脂和硅乳液，用于涂料、膠黏劑等領域。此外，硅酸甲酯還用于電子行業，作為半導體材料和涂層的原料。